A New Method of AFM‐Based Nanolithography Using Frequency Enhanced Electrochemical Pressure Solution Etching
نویسندگان
چکیده
A new method of direct-write nanolithography that is able to rapidly etch silica surfaces under a scanning atomic force microscopy (AFM) probe in tapping mode (TM) reported. In this lithography technique, are etched using recently described electro-chemo-mechanical phenomenon frequency enhanced electrochemical pressure solution (FEEPS). FEEPS, the AFM tip generates oscillations Stern potential at silica-water interface can accelerate dissolution kinetics by more than 5–6 orders magnitude when surface resonance states achieved; i.e., oscillation phase with dynamics interfacial chemical reaction steps. By TM, selectively dissolved below as it scanned. The FEEPS accelerated rates generate features depths 60 nm single pass. rate etching be controlled easily varying or modulating frequency. This fine control over process and because material removed (dissolved) rather displaced nanoscratching, lends itself gray-scale which demonstrated.
منابع مشابه
solution of security constrained unit commitment problem by a new multi-objective optimization method
چکیده-پخش بار بهینه به عنوان یکی از ابزار زیر بنایی برای تحلیل سیستم های قدرت پیچیده ،برای مدت طولانی مورد بررسی قرار گرفته است.پخش بار بهینه توابع هدف یک سیستم قدرت از جمله تابع هزینه سوخت ،آلودگی ،تلفات را بهینه می کند،و هم زمان قیود سیستم قدرت را نیز برآورده می کند.در کلی ترین حالتopf یک مساله بهینه سازی غیر خطی ،غیر محدب،مقیاس بزرگ،و ایستا می باشد که می تواند شامل متغیرهای کنترلی پیوسته و گ...
A Solution of Riccati Nonlinear Differential Equation using Enhanced Homotopy Perturbation Method (EHPM)
Homotopy Perturbation Method is an effective method to find a solution of a nonlinear differential equation, subjected to a set of boundary condition. In this method a nonlinear and complex differential equation is transformed to series of linear and nonlinear and almost simpler differential equations. These set of equations are then solved secularly. Finally a linear combination of the solutio...
متن کاملbuckling of viscoelastic composite plates using the finite strip method
در سال های اخیر، تقاضای استفاده از تئوری خطی ویسکوالاستیسیته بیشتر شده است. با افزایش استفاده از کامپوزیت های پیشرفته در صنایع هوایی و همچنین استفاده روزافزون از مواد پلیمری، اهمیت روش های دقیق طراحی و تحلیل چنین ساختارهایی بیشتر شده است. این مواد جدید از خودشان رفتارهای مکانیکی ارائه می دهند که با تئوری های الاستیسیته و ویسکوزیته، نمی توان آن ها را توصیف کرد. این مواد، خواص ویسکوالاستیک دارند....
Electrochemical AFM "dip-pen" nanolithography.
In recent years, SPM-based lithography has attracted great attention because of its simplicity and precise control of the structure and location. Many SPM lithography techniques based on mechanical scratching,1 anodization of Si surfaces,2 electrochemical decomposition of self-assembled monolayers,3 electric field-induced chemical reactions,4 electrochemical reactions in solution using electroc...
متن کاملذخیره در منابع من
با ذخیره ی این منبع در منابع من، دسترسی به آن را برای استفاده های بعدی آسان تر کنید
ژورنال
عنوان ژورنال: Advanced materials and technologies
سال: 2023
ISSN: ['2365-709X']
DOI: https://doi.org/10.1002/admt.202201297